CCD是Charge-Coupled Device電荷耦合器件的縮寫。CCD是貝爾實驗室W.S.Boyle和G.E.Smith於1970年發明的,由於它具有光電轉換、信息存儲、延時和將電信號按順序傳送等功能,且集成度高、功耗低,因此隨後得到飛速發展,是圖像采集及數字化必不可少的關鍵部件,廣泛用於科學、教育、醫學、商業、工業、軍事和消費領域。
- CCD基本單元
CCD基本單元為像素,按像素的排列方式有兩種:
1. 線陣CCD – 多個像素排成一行或一列,如掃描儀。
2. 面陣CCD – 多個像素排成陣列。如傢用CCD相機。科學級CCD相機一般是面陣。如Greateyes內真空相機 GE-VAC 1024 256 BI UV1,像素個數為1024×256個,排成1024行,256列。
由此引出一個CCD主要參數指標:空間分辨率。
- CCD分辨率
單位面積的像素個數,分辨率與像素大小(面積)、單位面積或單位長度內像素個數相關。科學級CCD相機通常以像素大小和像素個數給出分辨率。如德國Greateyes內真空相機GE-VAC 1024 256 BI UV1,像素個數為1024×256個,像素面積為26μm×26μm。
- CCD相機像素滿井容量(Full-Well Capacity)
對科學級相機,一般為數百個ke。
滿井容量與柵極電壓UG、絕緣層電容Cox、柵極面積Ad和P-Si摻雜濃度相關:Q=Cox×UG×Ad
Greateyes內真空相機 GE-VAC 1024 256 BI UV1,像素滿井容量為500ke。滿井容量高,則動態范圍大。
- CCD動態范圍(Dynamic Range)
CCD動態范圍(Dynamic Range)是指:
能夠探測到的最大光強(曝光量)和最小光強的比值。
DR = (Nwell – Ndark)/σread,其中Nwell:滿井電子數,Ndark:暗電子數。
從上式可以看出,動態范圍主要的影響因素是讀出噪聲。
- 信噪比(Signal/Noise Ratio)
總噪聲
信噪比
假設曝光時間為1秒,光電子數為1000,暗電流為1e/pixel/s,讀出噪聲RMS為40,則
當讀出噪聲RMS為20時,
一般來說,CCD制冷到足夠的溫度,曝光時間不是很長時,暗電流噪聲是很小的,可以忽略不計。例如:Greateyes GE-VAC 1024 256 BI UV1暗噪聲0.0005 e-/pixel/sec @ -80℃,暗噪聲達到1e rms也需要2000s=0.56h。
- 寄存器滿井容量(Register full well capacity)
因為硬件Binning在移位寄存器內完成電荷包的相加,因此,寄存器的滿井容量也是一項性能指標。寄存器滿井容量一般是像素滿井容量的幾倍。
如Greateyes GE-VAC 1024 256 BI UV1像素滿井容量為500ke,寄存器滿井容量為1,000ke
因此,硬件Binning時,要避免寄存器滿井溢出,尤其是使用很多個像素聯用時,需要特別註意。
- CCD增益(Gain)
電荷包對應的數字量。一般表示為一個電子對應多少個計數,或多少個計數對應一個電子。科學級CCD大多數有多級增益可設置,以適合不同的光照條件(強光和弱光),高增益(高靈敏度)適合弱光,低增益適合強光(低靈敏度)。
Greateyes以count/e給出這個性能指標,有兩級增益可設置:1count/e(Std. High Sensitivity),或0.2count/e(0.4count/e)(Low Max. Dyn. Range)。相應的e/count為1e/count,5e/count(或2.5e/count)
- CCD幀率(frame rate)
從前文可知,CCD采集一幅圖像後,電荷包的讀出需要一定的時間,因此對科學級CCD相機來說,有一個性能指標,即幀率。
幀率是指單位時間內可獲取的圖像數量,一般以Frames/S表示,常簡寫為FPS。
- 像素讀出頻率的限制
下限:為避免熱激發產生的電子(暗電流)的影響,要求電荷包從一個柵極轉移到下一個柵極所用時間t必須小於暗電子(P-Si少子)的平均壽命τi,平均壽命與溫度相關,溫度越高,壽命越短。對三相耦合讀出結構來說,讀出頻率:
上限:轉移時間應大於電荷從一個柵極移動到另一個柵極的時間τg
表面溝道CCD的讀出頻率≤10MHz
隱埋溝道CCD的讀出頻率≤240MHz
- Binning – 像素聯用
分為硬件Binning和軟件Binning。科學級CCD通常都提供硬件Binning功能。
- 硬件Binning:
將幾個像素的信號在讀出之前相加,這種方式減少瞭讀出次數,因而減少瞭讀出噪聲,提高瞭信噪比。
硬件Binning是在移位寄存器中完成的。
如下圖,假設要進行4像素聯用,下圖紅色虛框所示:
讀出過程如下:
1. 將R4行像素電荷包移入水平移位寄存器,移入後,不進行水平移動。
2. 再將R3行移入水平移位寄存器,移入時將對應列的像素電荷包相加
3. 將C1、C3列對應的電荷包向右移動,在C2列、C4列對應的寄存器內完成相加
4. 再將水平移位寄存器的內容向右移動
5. 重復以上過程,直至讀出所有像素
- 軟件Binning:
軟件Binning是在讀出之後,使用軟件將數字化的像素電荷包相加,不會提高信噪比。
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